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GB/T 42895-2023 正式版 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
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GB/T 42896-2023 正式版 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
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GB/T 42897-2023 正式版 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
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GB/T 42907-2023 正式版 硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法
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GB/T 6616-2023 正式版 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法
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GB/T 42587-2023 信息技术 自动识别与数据采集技术 数据载体标识符
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